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簡(jiǎn)要描述：半導體封裝材料真空探針臺是一種能夠在高真空環(huán)境下進(jìn)行精確測量和實(shí)驗的設備。其基本原理是利用真空環(huán)境下的物理現象和特性，對樣品進(jìn)行各種實(shí)驗和測量。在高真空環(huán)境中，氣體分子很少，這有助于減少空氣阻力、空氣振動(dòng)和其他干擾因素，從而獲得較為準確和可靠的實(shí)驗數據。
產(chǎn)品型號：廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家更新時(shí)間：2024-12-12訪(fǎng) 問(wèn) 量：1112產(chǎn)品分類(lèi)
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| 品牌 | HUACE/北京華測 | 應用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
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半導體封裝材料真空探針臺
半導體封裝材料真空探針臺產(chǎn)品參數：
腔體
樣品臺尺寸：2英寸
樣品固定：樣品固定
觀(guān)察窗口：2英寸
真空度：10-6 torr
探針臂接口：最多6個(gè)探針臂接口
其他接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口
制冷方式：液氮 / 液氦
控制方式：開(kāi)循環(huán)手動(dòng)
溫度范圍：77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K
溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K
穩定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K
顯微鏡
X-Y-Z 移動(dòng)行程：50mm×25mm×13mm
結構：外置探針臂，真空波紋管結構
移動(dòng)精度：10μm / 1μm
光源：外置LED環(huán)形光源 / 同軸光源
CCD：200萬(wàn)像素 / 500萬(wàn)像素 / 1200萬(wàn)像素
探針座
X-Y-Z 移動(dòng)行程：X-Y-Z 移動(dòng)行程
結構：外置探針臂，真空波紋管結構
移動(dòng)精度：10μm / 1μm
探針夾具
線(xiàn)纜：同軸線(xiàn) / 三軸線(xiàn) / 射頻線(xiàn)
漏電精度：10pA / 100fA / 10fA
固定探針：彈簧固定 / 螺絲固定
接頭類(lèi)型：BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷魚(yú)夾 / 接線(xiàn)端子/ 射頻接口
探針
射頻支持：DC-67GHZ
針尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm
材質(zhì)：鎢鋼 / 鈹銅
真空組件：分子泵組 / 機械泵
冷源組件：50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷機
外形重量：730mm×750mm×1265mm（長(cháng)寬高） 約100kg
防震桌參數：
氣浮隔振防震桌
隔振方式:隔振方式
材質(zhì):不銹鋼 / 碳鋼
平面度:0.05mm / m2
粗糙度:＜0.8μm
孔距:25×25mm
孔徑:M6
平臺尺寸（長(cháng)寬):可定制
平臺厚度：50 / 100 / 200mm
固有頻率:.5Hz - 2Hz
支撐腿:氣浮支撐腿
支撐腿數量:4個(gè) / 6個(gè)
支撐腿高度:800mm±10mm
其他:內芯采用蜂窩支撐、表面密迪紋處理、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制
產(chǎn)品參數：
腔體
樣品臺尺寸：4英寸
樣品固定：樣品固定
觀(guān)察窗口：4英寸
真空度：10-6 torr
探針臂接口：最多6個(gè)探針臂接口
其他接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口
制冷方式：制冷機
控制方式：閉循環(huán)自動(dòng)控制
溫度范圍：4.5K ~ 450K
溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K
穩定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K
顯微鏡
X-Y-Z 移動(dòng)行程：50mm×25mm×13mm
結構：外置探針臂，真空波紋管結構
移動(dòng)精度：10μm / 1μm
光源：外置LED環(huán)形光源 / 同軸光源
CCD：200萬(wàn)像素 / 500萬(wàn)像素 / 1200萬(wàn)像素
探針座
X-Y-Z 移動(dòng)行程：X-Y-Z 移動(dòng)行程
結構：外置探針臂，真空波紋管結構
移動(dòng)精度：10μm / 1μm
探針夾具
線(xiàn)纜：同軸線(xiàn) / 三軸線(xiàn) / 射頻線(xiàn)
漏電精度：10pA / 100fA / 10fA
固定探針：彈簧固定 / 螺絲固定
接頭類(lèi)型：BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷魚(yú)夾 / 接線(xiàn)端子/ 射頻接口
探針
射頻支持：DC-67GHZ
針尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm
材質(zhì)：鎢鋼 / 鈹銅
真空組件：分子泵組 / 機械泵
冷源組件：50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷機
外形重量：730mm×750mm×1265mm（長(cháng)寬高） 約100kg
防震桌參數：
阻尼隔振防震桌
隔振方式:高級復合材料隔振
材質(zhì):不銹鋼 / 碳鋼
平面度:0.05mm / m2
粗糙度:＜0.8μm
孔距:25×25mm
孔徑:M6
平臺尺寸（長(cháng)寬):可定制
平臺厚度：50 / 100 / 200mm
固有頻率:6Hz - 8Hz
支撐腿:阻尼支撐腿
支撐腿數量:4個(gè) / 6個(gè)
支撐腿高度:800mm±10mm
其他:內芯采用蜂窩支撐、表面密迪紋處理、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制
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