微型真空探針臺是一款專(zhuān)門(mén)用于材料電學(xué)表征和測量的微型桌面型電學(xué)測量臺，主要用于介電、壓電、鐵電、熱釋電、光電等材料的電學(xué)表征和測量，還可以在真空、氣氛環(huán)境下對材料進(jìn)行電學(xué)測量評估，是實(shí)驗室測量薄膜材料電學(xué)材料bibei工具，廣泛用于高校、科研、航天航空院所等領(lǐng)域。

功能特點(diǎn)

1、無(wú)人機外觀(guān)設計開(kāi)發(fā)，讓低溫探針臺小巧精密；

2、XYZ三維移動(dòng)平臺的開(kāi)發(fā)，位移最小分辨率10um以下；

3、電聲制冷機制冷加熱一體化平臺應用開(kāi)發(fā)；

4、液氮制冷加熱一體化平臺應用開(kāi)發(fā)；

5、利用機械彈性設計，低溫環(huán)境下也有彈性，避免在探針壓薄膜樣品是損壞薄膜；

6、實(shí)現-160℃~450℃的制冷和加熱測量環(huán)境，控溫精度達到±0.5℃；

7、采用1000X放大鏡顯微鏡設計，有利于實(shí)時(shí)觀(guān)察樣品的測量狀態(tài)；

8、廣泛用于復雜、高速器件的精密電器測量，可靠性高；

9、高低溫平臺、測量夾具、測量軟件等集成于一體，讓操作變得簡(jiǎn)單；

10、可以通過(guò)USB傳輸數據，數據格式為Excel格式。

應用：晶圓、芯片、LED測試、場(chǎng)晶體管、IGBT、分立器件等測試類(lèi)型：IV/CV測試、RF測試、光電測試等搭配儀器：吉時(shí)利2400系列、4200系列、安捷倫B2900系列、1500系列等特點(diǎn)：超高真空環(huán)境、避免氧化、結霜，77K-675K溫度測試范圍，外置探針臂操作穩定、精準，可兼容不同類(lèi)型顯微鏡滿(mǎn)足不同觀(guān)察要求、可滿(mǎn)足光譜測試、液氮開(kāi)循環(huán)制冷，降低研發(fā)成本，模塊化設計、后期可無(wú)縫升級配置。

可按用戶(hù)要求訂制非標產(chǎn)品

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