高溫四探針測試儀的測量原理及其優(yōu)勢簡(jiǎn)析
更新時(shí)間：2021-04-25 點(diǎn)擊次數：4059
高溫四探針測試儀采用四探針雙電測量方法，適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門(mén)，是檢驗和分析導體材料和半導體材料在高溫、真空及氣氛條件下測量的一種重要的工具。本儀器配置各類(lèi)測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無(wú)需人工計算，并帶有溫度補償功能。
高溫四探針測試儀的測量原理
測量電阻率的方法很多，如三探針?lè )?、電?電壓法、擴展電阻法等,四探針?lè )▌t是一種廣泛采用的標準準
法，儀器采用經(jīng)典直排四探針原理，同時(shí)采用了雙電測組合四探針?lè )ā?/div>
經(jīng)典的直排四探針?lè )y試電阻率，要求使用等間距的探針，如果針間距離不等或探針有游移，就會(huì )造成實(shí)驗差。當被測片較小或在大片邊緣附近測量時(shí)，要求計入電場(chǎng)畸變的影響進(jìn)行邊界修正。
采用雙電測組合四探針的出現，為提高薄膜電阻和體電阻率測量準確度創(chuàng )造了有利條件。
高溫四探針測試儀采用雙電測組合四探針?lè )ǖ膬?yōu)勢
采用雙電測組合四探針?lè )ㄟM(jìn)行測試，測試結果與探針間距無(wú)關(guān)，能夠消除間距不等及針尖機械游移變化的影響，因此四探針測試臺允許使用不等距探針頭。
采用雙電測組合四探針?lè )ň哂凶詣?dòng)修正邊界效應的功能，對小尺寸被側片或探針在較大樣品邊緣附近時(shí),不需要對樣品做幾何測量，也不需要尋找修正因子。
采用雙電測組合四探針?lè )?，不移?dòng)四探針針頭，同時(shí)使用三種模式測量，既可計算得到測試部位的電阻均勻性。
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