四探針測試技術(shù)是半導體生產(chǎn)中主要監測手段之一，并且在半導體材料的測量中發(fā)揮著(zhù)越來(lái)越重要的作用。四探針測試技術(shù)是一種測量技術(shù)，在有些情況下還需要有高分辨率。每一種四探針?lè )▽μ结樀慕Y構、位置和針尖距都有不同的要求，一般情況下，針距都是很小的，可能低于1mm。在大片徑樣品測量中，要盡可能地減小測量區域，以便好地觀(guān)測樣品電阻率的不均勻性。

鑒于以上原因，在測量時(shí)需要對測試臺、樣品和探針都進(jìn)行細微的實(shí)時(shí)監測，保證測量是在允許的情況下進(jìn)行的。但是人的肉眼的分辨率有限，直接依靠肉眼觀(guān)測容易疲勞而產(chǎn)生誤判，而且不能進(jìn)行記錄，會(huì )給測量結果帶來(lái)很大的誤差。通常情況下可以通過(guò)顯微鏡解決肉眼分辨率低的問(wèn)題，但是檢測起來(lái)還是相當麻煩。視頻采集技術(shù)的發(fā)展可以很好地解決以上問(wèn)題，能對測試過(guò)程進(jìn)行圖像采集、記錄和分析，達到實(shí)時(shí)監測的要求，而且有很高的分辨率，方便測量員對測量過(guò)程的控制。

視頻采集技術(shù)在四探針測量中發(fā)揮著(zhù)重要作用，主要體現在兩個(gè)方面：

1）對顯微鏡監測對象的圖像進(jìn)行實(shí)時(shí)采集；

2）對采集到的視頻數據進(jìn)行處理，包括分析、記錄和顯示。一般可以借助計算機實(shí)現視頻信息的記錄與顯示，從而使得傳統的探針測試臺與計算機技術(shù)緊密地結合起來(lái)。

視頻采集技術(shù)的引進(jìn)實(shí)現了對四探針測量過(guò)程真正意義上實(shí)時(shí)監測，提高了測試儀的控制精que性，從而提高了測量結果的精度和準確性，尤其對觀(guān)測樣品電阻率的不均勻性有很大的幫助。